1.氣體的濃差問題

在我們的周圍環(huán)境中,充滿了高氧和水蒸氣.大氣中的氧是21% ,水蒸氣大約是在1-2%左右,它們是以氣態(tài)形式混雜在大氣中。我們知道,在混合氣體中，每個氣體都有它一定的分壓。系統(tǒng)中被測的氧和水是極低的.通常只有幾個PPb幾個PPm-幾十PPn.這樣它們就與系統(tǒng)外的氧和水之間存在著- -- 個很大的濃度差(或分壓差),盡管系統(tǒng)內(nèi)的載氣壓力很高,但是由于氧和水蒸氣的濃度差還是系統(tǒng)外高于系統(tǒng)內(nèi),如果系統(tǒng)和管道中的密封性能不好,哪怕一點點的微漏，由于氣體濃差的存在.就會有一個慢滲漏的問題,必須引起注意。

2.系統(tǒng)有吸附問題

任何物質(zhì)對不同的材料都有一種吸附現(xiàn)象氧分子和水分子的吸附能力就更強.這種吸附與容器表面積和光潔度有關(guān),表面積越小，光潔度越高吸附就越小,反之就越大。對一個凈化的容器和系統(tǒng)來說,內(nèi)壁應(yīng)盡可能光滑,不要有死角，管道要盡可能短.要用致密的材料,最好用不銹鋼管。系統(tǒng)在正式使用和測量之前,要有足夠的時間進(jìn)行吹掃.一般需要二三天吹掃，視吹掃流量的大小而定。

1.3露點儀的精度問題

對凈化氣體中的微量水,大多數(shù)的用戶都喜歡用露點(DP)來表示,也有少數(shù)用戶喜歡用PPm來表示,這二者之間并不是線性關(guān)系。為了能直接顯示露點值(DP),儀器要經(jīng)過線性化處理。